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產品詳情
  • 產品名稱:薄膜膜厚監(jiān)測儀

  • 產品型號:CY-MT
  • 產品廠商:成越科儀
  • 產品文檔:
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簡單介紹:
本膜厚監(jiān)控儀適用于真空電阻熱蒸發(fā)、磁控濺射等鍍膜厚度測量,到達設置厚度自動關閉擋板;通過液晶顯示使您能連續(xù)獲取完整的沉積數(shù)據(jù),包括速率、厚度和晶體振蕩頻率. 1、本機可與計算機連接。 2、顯示儀具有界面簡潔、直觀、合理、操作方便快捷等優(yōu)點,可直觀顯示所測的膜厚、速率、頻率、PWM控制輸出的百分比等工作狀態(tài)。 3、通過軟件或顯示儀可對門控時間、輸出方式、速率算法、材料參數(shù)、輸出量程及通訊參數(shù)等進行設置,并可將所測相關數(shù)據(jù)寫入Excel文件。 4、具有體積超小、測量精度高、操作簡單、使用方便等優(yōu)點
詳情介紹:

產品名稱

膜厚監(jiān)測儀

主要特點

1、本機可與計算機連接

2、顯示儀具有界面簡潔、直觀、合理、操作方便快捷等優(yōu)點,可直觀顯示所測的膜厚、速率、頻率、PWM控制輸出的百分比等工作狀態(tài)。

3、通過軟件或顯示儀可對門控時間、輸出方式、速率算法、材料參數(shù)、輸出量程及通訊參數(shù)等進行設置,并可將所測相關數(shù)據(jù)寫入Excel文件。

4具有體積超小、測量精度高、操作簡單、使用方便等優(yōu)點。

技術參數(shù)

監(jiān)測組件

1、電源:DC  5V±10%),*大電流400mA

2、頻率分辨率:±0.03Hz

3、膜厚分辨率:0.0136?

4、膜厚準確度:±0.5%,取決于過程條件,特別是傳感器的位置,材料應力,溫度和密度

5、測量速度:100ms-1s/,可設置

6、測量范圍:500000?

7、標準傳感器晶體:6MHz

8、計算機接口:RS-232/485串行接口波特率12002400、4800、9600、19200、38400可設置,數(shù)據(jù)位8,停止位1校驗

9、模擬輸出:8比特分辨率,PWM脈寬調制輸出(集電極開路或內部5V輸出)

10、工作環(huán)境:溫度0-50℃,濕度5%-85%RH,不得有冷凝水珠

11、外形尺寸:90mm×50mm×18mm

 

顯示儀

1、輸入電源:AC 220V±10%

2、輸出電源:DC  5V  3A

3、顯示器:12×2數(shù)碼管與LED

4、通訊端口:RS-485波特率1200、24004800、960019200、38400可設置,數(shù)據(jù)位8位,停止位1位,奇偶校驗

5、外形尺寸:182mm×65mm×160mm

 

CY-TM106-3探頭

1、適用晶片頻率:6MHz

2、適用晶片尺寸:?14mm

3、安裝法蘭:CF35

4、冷卻水管:?3mm,長度300mm、500mm、1000mm

5、冷卻水壓:<0.3MPa

6、氣動擋板路管:?3mm

7、壓縮空氣壓力:<0.8MPa,>0.5MPa

8、烘烤溫度:通水狀態(tài)<200℃,不通水狀態(tài)法蘭<100

9、電氣接口:BCN插座

豫公網(wǎng)安備 41019702002438號

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