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本產品為桌面型小型蒸發(fā)鍍膜儀，設備安裝有鎢絲籃蒸發(fā)源，可提供*大100A的鍍膜電流，*大蒸發(fā)溫度可達1800℃，能夠滿足各種常見金屬的蒸鍍及部分非金屬蒸鍍。真空腔體采用不不銹鋼制作，配合分子泵組可達到5x10-5Pa極限真空，能夠滿足絕大部分材料蒸發(fā)所需的真空環(huán)境；同時設備采用高罐體及電動升降樣品臺的設計，能夠滿足不同樣品和膜料的蒸鍍要求；升降機構采用焊接波紋管密封，在保證密封性的情況下實現(xiàn)了樣品臺的升降動作。樣品臺的升降及旋轉均可通過屏幕控制，操作簡單直觀，十分適合實驗室使用。
小型蒸發(fā)鍍膜儀技術參數：
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產品名稱 |
桌面型電動升降樣品臺蒸發(fā)鍍膜儀 |
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產品型號 |
CY-EVZ195-I-H-SS |
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樣品臺 |
外形尺寸 |
直徑φ70mm |
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可調溫度 |
≦500℃ |
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熱蒸發(fā)源 |
金屬蒸發(fā)源鎢舟1個 |
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蒸發(fā)電源 |
每個蒸發(fā)源配一組獨立電源 |
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真空腔體 |
腔體尺寸 |
直徑φ195mm，高度350mm |
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觀察窗口 |
直徑φ60mm |
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腔體材質 |
304不銹鋼 |
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開啟方式 |
前開門式 |
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膜厚測量 |
晶體膜厚測量儀（也可選膜厚控制儀） |
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真空系統(tǒng) |
前級泵 |
雙極旋片泵，氣體抽速1.1L/S |
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次級泵 |
渦輪分子泵,氣體抽速600L/S |
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真空測量 |
復合真空計(電離規(guī)+電阻規(guī)) |
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系統(tǒng)真空 |
5×10-4Pa |
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控制系統(tǒng) |
CYKY自研專業(yè)級控制器 |
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其他參數 |
供電電源 |
AC380V,50Hz |
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整機尺寸 |
600mm×600mm×750mm |
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整機功率 |
1200W |
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整機重量 |
95kg |
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