技術(shù)參數(shù)：

項(xiàng)目	明細(xì)
產(chǎn)品型號(hào)	CY-MSH270-I-RF-Q
供電電壓	AC220V，50Hz
整機(jī)功率	3KW
系統(tǒng)真空	≦5×10-4Pa
樣品臺(tái)	尺寸	150mm
	加熱溫度	≤500℃
	旋轉(zhuǎn)速度	1-20r/min
	控溫精度	±1℃
磁控濺射頭	數(shù)量	2英寸 x1
	冷卻方式	水冷
真空腔體	腔體尺寸	φ270mm X 200mm
	觀察窗口	全向可視
	開啟方式	頂蓋拆卸式
	腔體材料	高純石英
真空系統(tǒng)	機(jī)械泵	CY240
	抽氣接口	KF16
	抽氣速率	1.1L/s
	分子泵	CY600
	抽氣接口	KF40
	抽氣速率	600L/s
	排氣接口	KF40
	真空測量	電阻規(guī)+電離規(guī)
	供電電源	AC;220V 50/60Hz
氣體控制	1路質(zhì)量流量計(jì)用于控制Ar流量，量程為:200SCCM
膜厚測量	可選配石英晶體膜厚儀，分辨率0.10 ?
控制系統(tǒng)	CYKY自研專業(yè)級(jí)控制系統(tǒng)
電源配置	直流電源數(shù)量	1臺(tái)
	輸出功率	≤500W
	輸出電壓	≤600V
	響應(yīng)時(shí)間	＜5ms
	射頻電源數(shù)量	1臺(tái)
	輸出功率	≤1000W
	功率穩(wěn)定度	≤5W
	測量精度	±0.5%
	測量速度	100~1000ms
	測量上限	50000