技術(shù)參數(shù)：

產(chǎn)品名稱	單靶等離子濺射鍍膜儀（基礎(chǔ)型）
產(chǎn)品型號(hào)	CY-PLZ180-I-DC-Q
樣品臺(tái)	尺寸	60mm
	到靶面距離	20~35mm高度可調(diào)
等離子濺射靶	數(shù)量	2英寸x1
	冷卻方式	自然冷卻
真空腔體	腔體尺寸	φ180mm X 100mm
	觀察窗口	全向可視
	腔體材料	高純石英
	開啟方式	頂蓋拆卸式
	上下蓋材質(zhì)	304不銹鋼
	抽氣接口	KF25
	進(jìn)氣接口	1/4英寸卡套接頭
電源配置	數(shù)量	直流電源x1
	輸出功率	*大150W
	濺射電源	3000V
	*大濺射電流	50mA
真空系統(tǒng)	真空泵類型	雙極旋片真空泵
	抽氣接口	KF25
	排氣接口	KF16
	抽氣速率	1.1L/s（4m3/h）
	極限真空度	≥1Pa
	真空測量	電阻真空規(guī)
其他	供電電源	AC 220V  50Hz
	整機(jī)功率	1.5kW
	整機(jī)尺寸	500mm X 320mm X470mm
	整機(jī)重量	30kg